Urządzenie do pompowania próżniowego gazu HYKS-1000/300 SF6

Ta pompa próżniowa jest bezpośrednio sprzężoną-obrotową pompą próżniową. Składa się z wirnika zamontowanego wewnątrz komory stojana i dwóch łopatek przesuwanych w szczelinach wirnika. Dociśnięte mocno do ścianki cylindra siłą sprężyny i siłą odśrodkową, dwie łopatki dzielą przestrzeń wewnętrzną na stronę wlotową i wylotową. Gdy wirnik obraca się w sposób ciągły w ustalonym kierunku, komora po stronie wlotowej-rozszerza się cyklicznie, zasysając gaz, podczas gdy komora po stronie wylotowej- stopniowo kurczy się, aby sprężać zasysany-gaz. Sprężony gaz jest następnie wydalany przez zawór wydechowy, osiągając w ten sposób cel usuwania gazu. Pompa ta ma dwustopniową-strukturę. Gdy ciśnienie wlotowe jest stosunkowo wysokie, oba stopnie jednocześnie odprowadzają gaz z komory pompy. Gdy ciśnienie wlotowe jest niskie, gaz wchodzi do etapu wysokiego-ciśnienia przez wlot, po pierwotnym sprężaniu przepływa do etapu niskiego-ciśnienia przez kanał powietrza międzystopniowego-i na koniec jest odprowadzany przez zawór wydechowy po wtórnym sprężaniu. Z tego powodu może zapewnić wyższą próżnię końcową niż pompy jednostopniowe.